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電阻性能測試儀 四探針測試儀 四探針分析儀



儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。
型       號   AODD-RTS-5
顏       色  
尺       寸  

商品詳情


四探針測試儀 四探針分析儀 電阻性能測試儀
型號:AODD-RTS-5
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。
RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標(biāo) :
測量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm;
電阻:0.001~200Ω.cm;
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量最大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;

 

四探針測試儀 四探針分析儀 電阻性能測試儀
型號:AODD-RTS-5
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。
RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標(biāo) :
測量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm;
電阻:0.001~200Ω.cm;
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量最大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;

 


開戶行:中國工商銀行股份有限公司北京地壇支行
帳戶名:北京愛歐德儀器設(shè)備有限公司
帳 號: 0200245509020159078


開戶行 :中國工商銀行股份有限公司北京地壇支行
帳戶名 :
北京愛歐德科技有限公司
 號 :0200245509020158974



一、服務(wù)承諾:

        1.我公司組建了一批強(qiáng)硬的維修服務(wù)隊(duì),有經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和高級技師,對出現(xiàn)的問題都能在最短的時間內(nèi)進(jìn)行檢測與解決。

       2.七天內(nèi)有質(zhì)量問題無條件調(diào)換產(chǎn)品(人為原因除外)。

       3.對我公司所銷售出的產(chǎn)品,免費(fèi)質(zhì)保一年。

4.保質(zhì)期內(nèi)有關(guān)于產(chǎn)品質(zhì)量引發(fā)的費(fèi)用,由我公司承擔(dān)。

5.保質(zhì)期內(nèi)由于貴方的使用不當(dāng),或者是自然環(huán)境造成的我方免費(fèi)提供維修,維修所用的材料和配件均只收成本價。

        二、運(yùn)輸方式:

               1.所訂購產(chǎn)品由我公司以快遞形式交付到需方指定地點(diǎn),包裝費(fèi)、運(yùn)費(fèi)有我公司支付。

               2.貨到之后,當(dāng)場驗(yàn)貨,如有損壞,由我公司負(fù)責(zé)。







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