半導(dǎo)體材料電阻性能測(cè)試儀 數(shù)字式四探針測(cè)試儀 單晶硅物理測(cè)試儀 半導(dǎo)體材料電阻率檢測(cè)儀 方塊電阻薄層電阻測(cè)試儀
型號(hào)AODD-8
DL10-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
DL10-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
技 術(shù) 指 標(biāo):
測(cè)量范圍電阻率:10-4~105Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:10-3~106Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:10-5~104s/cm;
電阻:10-4~105Ω;
可測(cè)晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));
恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1%;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;
四探針探頭基本指標(biāo)間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
(按JJG508-87進(jìn)行)0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2℃;
相對(duì)濕度:≤65%;
無(wú)高頻干擾;
無(wú)強(qiáng)光直射;
開(kāi)戶行:中國(guó)工商銀行股份有限公司北京地壇支行
收款人:北京愛(ài)歐德儀器設(shè)備有限公司
卡 號(hào) 0200245509020159078
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收款人 :北京愛(ài)歐德科技有限公司
帳 號(hào)
:0200245509020158974
開(kāi)戶行:中國(guó)工商銀行北京昌平區(qū)回龍觀支行
戶名:郝海蘭一、服務(wù)承諾:
1.我公司組建了一批強(qiáng)硬的維修服務(wù)隊(duì),有經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和高級(jí)技師,對(duì)出現(xiàn)的問(wèn)題都能在最短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)與解決。
2.七天內(nèi)有質(zhì)量問(wèn)題無(wú)條件調(diào)換產(chǎn)品(人為原因除外)。
3.對(duì)我公司所銷售出的產(chǎn)品,免費(fèi)質(zhì)保一年。
4.保質(zhì)期內(nèi)有關(guān)于產(chǎn)品質(zhì)量引發(fā)的費(fèi)用,由我公司承擔(dān)。
5.保質(zhì)期內(nèi)由于貴方的使用不當(dāng),或者是自然環(huán)境造成的我方免費(fèi)提供維修,維修所用的材料和配件均只收成本價(jià)。
二、運(yùn)輸方式:
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