商品詳情
電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 基片曲率半徑測量測試儀 光學(xué)零件平整度面形檢測儀 微電子生產(chǎn)半導(dǎo)體基片檢測儀
型號(hào)AODJ-DZ
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點(diǎn)數(shù)多,能給出全場面型分布結(jié)果,適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。
儀器基于干涉計(jì)量的全場測試原理,可實(shí)時(shí)觀測面型的分布,迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置,及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。
主要技術(shù)指標(biāo)
最大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測試精度5%
單片測量時(shí)間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
最大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
開戶行：中國工商銀行股份有限公司北京地壇支行
帳戶名：北京愛歐德儀器設(shè)備有限公司
帳 號(hào)： 0200245509020159078
開戶行 ：中國工商銀行股份有限公司北京地壇支行
帳戶名 ：北京愛歐德科技有限公司
帳 號(hào)
：0200245509020158974
一、服務(wù)承諾：
1.我公司組建了一批強(qiáng)硬的維修服務(wù)隊(duì)，有經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和高級(jí)技師，對(duì)出現(xiàn)的問題都能在最短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行檢測與解決。
2.七天內(nèi)有質(zhì)量問題無條件調(diào)換產(chǎn)品（人為原因除外）。
3.對(duì)我公司所銷售出的產(chǎn)品，免費(fèi)質(zhì)保一年。
4.保質(zhì)期內(nèi)有關(guān)于產(chǎn)品質(zhì)量引發(fā)的費(fèi)用，由我公司承擔(dān)。
5.保質(zhì)期內(nèi)由于貴方的使用不當(dāng)，或者是自然環(huán)境造成的我方免費(fèi)提供維修，維修所用的材料和配件均只收成本價(jià)。
二、運(yùn)輸方式：
1.所訂購產(chǎn)品由我公司以快遞形式交付到需方指定地點(diǎn)，包裝費(fèi)、運(yùn)費(fèi)有我公司支付。
2.貨到之后，當(dāng)場驗(yàn)貨，如有損壞，由我公司負(fù)責(zé)。
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